Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления



Скачать 23.39 Kb.
Дата06.01.2013
Размер23.39 Kb.
ТипДокументы

XXXIV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 12 – 16 февраля 2007 г.

рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления


А.Р. Галяутдинов, Р.Т. Галяутдинов, Н.Ф. Кашапов

Казанский государственный технологический университет, г. Казань,
e-mail: toureech@mail.ru


Низкотемпературная плазма находит применение для получения функциональных покрытий с регулируемыми характеристиками. Исследование состава и структуры тонких пленок оксида титана, полученных при различных условиях позволяет определить модель строения и на ее основе аналитически рассчитать комплексный показатель преломления. В оптике тонкопленочных покрытий актуально получение пленок с заданным комплексным показателем преломления [1].

В работе методом магнетронного распыления нанесены тонкие пленки оксида титана и проведен их рентгеноспектральный анализ.

Методом магнетронного распыления получены покрытия оксида титана на кварцевых подложках марки КВ [2]. Достигнуто регулирование показателя поглощения изменением соотношения аргона и кислорода в вакуумной камере в процессе распыления титановой мишени. Состав и топография поверхности наносимых покрытий изучена на сканирующем электронном микроскопе Phillips XL30 ESEM TMP с применением трех детекторов: GSE – твердотельного низковакуумного детектора, SE - детектора вторичных электронов и EDS - энергодисперсионного детектора.

Морфология поверхности пленки оксида титана изучена при увеличении в 50000 раз. В пленке не наблюдаются вкрапления и кристаллиты. В спектре характеристического излучения подложки примесей не выявлено. Рентгеноспектральные исследования пленок оксида титана проведены при низком вакууме, без напыления проводящего слоя. При напряжении на катоде электронной пушки в 15 и 10 кВ регистрируется характеристическое излучение от пяти элементов: титана Kβ = 4,9 кэВ, кα = 4,5 кэВ и lβ = 0,4кэВ, кремния кα = 1,7 кэВ, алюминия кα = 1,5 кэВ, кислорода кα = 0,5 кэВ, углерода кα = 0,3 кэВ. При 5 кВ интенсивность кα линии кремния уменьшается практически до нуля, что обусловлено уменьшением глубины генерации рентгеновского излучения до толщины пленки, составляющей порядка 200 нм. Отсутствие генерации К-серии атомов титана при 5 кВ в спектре объясняется низким уровнем энергии электронов. В спектре присутствует lβ линия титана, поскольку энергия фотонов lβ линии поглощения низка и составляет 0,4 кэВ.


Таким образом, в состав пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления, входят атомы титана и кислорода, и незначительная примесь атомов алюминия и углерода. Анализ топографии поверхности пленок оксида титана установил их однородность по составу и структуре.

Работа выполнялась при финансовой поддержке РФФИ проект № 04-02-9750200/4 и ИВФ РТ проект № 8Г по теме «Разработка технологии плазменного нанесения неоднородных оптических покрытий многоцелевого назначения».

Литература.

  1. Галяутднов Р.Т., Лучкин Г.С., Кашапов Н.Ф., Тезисы докладов. ХХХ111 Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС. Звенигород, 2006 г., с. 310.

  2. Галяутднов А.Р., Галяутдинов Р.Т, Кашапов Н.Ф. Материалы конференции. «Вакуумная наука и техника». Москва, 2006 г., с. 335-337.



Похожие:

Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconРеспублика Дагестан
Разработка технологии низкотемпературного формирования пленок нитрида алюминия с применением магнетронного распыления
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconЭнергосбережение светопрозрачных конструкций. Что такое энергосберегающее стекло
«мягким» покрытием производят путем нанесения тончайшего слоя из серебра и оксида титана на свежее холодное стекло методом катодного...
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconУчебно-методический комплекс "Фотоактивные композитные твердотельные наноматериалы. Синтез, свойства, применение" Лабораторная работа
Фотостимулированное выделение электроположительных металлов из водных растворов на частицах нанокомпозита оксида титана(IV) и оксида...
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconИсследование свойств графеновых пленок методом комбинационного рассеяния
Целью работы является исследование графеновых пленок методом комбинационного рассеяния и атомно-силовым микроскопом
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconНанесение металлических покрытий на порошки методом магнетронного напыления
Представлено описание технологии напыления. Представлены результаты исследования образцов методом рентгеноэлектронной спектроскопии....
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconРезультаты лабораторных испытаний пленок nanofilm
При изготовлении таких пленок, используя самые современные нано-технологии, в основу пленок внедряются ультратонкие крупицы сурьмы...
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconАтомно-эмиссионный спектральный анализ керамик на основе оксида алюминия и оксида циркония на регламентируемые примеси 02. 00. 02 аналитическая химия
Работа выполнена на кафедре аналитической химии Томского государственного университета
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconФизический факультет
Сравнительное исследование парамагнитных свойств образцов, полученных методом пиролиза аэрозолей и золь-гель методом 19
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconСальмо-Нил® сухой
...
Рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления iconМоделирование отслоения тонких пленок при сжатии методом фотоупругости 1

Разместите кнопку на своём сайте:
ru.convdocs.org


База данных защищена авторским правом ©ru.convdocs.org 2016
обратиться к администрации
ru.convdocs.org